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非晶硅薄膜的生長(zhǎng)機(jī)理是怎么樣的

非晶硅薄膜的生長(zhǎng)機(jī)理是怎么樣的

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級(jí)別:| 積分:60 分 | 瀏覽:81213 | 大。230.00KB | 下載:4493 次 | 上傳:2013-09-05

簡(jiǎn)介:

制備氫化硅薄膜是基于輝光放電的PECVD技術(shù),在外界電場(chǎng)的激勵(lì)下使反應(yīng)氣體電離形成等離子體。

         
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