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游離磨料線鋸切片流體動壓效應(yīng)的數(shù)值分析

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級別:| 積分:100 分 | 瀏覽:80401 | 大。367.00KB | 下載:4445 次 | 上傳:2013-10-23

簡介:

集成電路(IC)是現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)和信息社會的基礎(chǔ),絕大多數(shù)集成電路芯片都是以單晶硅片為基體材料制成的。用于制造IC的硅片不僅要求極高的平面度,極小的表面粗糙度值,而且要求表面無變質(zhì)層,無劃傷。

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